壓力傳感器 MENS 是由微加工技術制備, 特征結構在微米尺度 1um~0.1mm 范圍 ，集成有微傳感器, 微致動器, 微電子信號處理與控制電路等部件的微型系統(tǒng). 80%以上的 MENS 采用硅微工藝進行制作, 并且需要在特定壓力之下快速進行不同溫度點的性能測試. 上海伯東美國 inTEST 熱流儀搭配壓力機作為一種常用溫度測試手段, 廣泛應用于 MENS 性能測試.

壓力傳感器 MENS 高低溫測試方法：
1. 將器件放在壓力機里面
2. 啟動 inTEST ATS-545 高低溫沖擊機加熱至需要測試的溫度點
3. 調節(jié)壓力機, 設定壓力值
4. 使用儀器測試微電感器件在該溫度下的參數(shù)
5. 調節(jié)需要溫度點, 重復 2, 3, 4這三個操作, 記錄數(shù)據(jù)

inTEST ATS-545 熱流儀技術參數(shù)

與傳統(tǒng)高低溫實驗箱, 溫濕度測試箱對比, inTEST ThermoStream 熱流儀主要優(yōu)勢：
1. 變溫速率更快
2. 溫控精度：±1℃
3. 實時監(jiān)測待測元件真實溫度, 可隨時調整沖擊氣流溫度
4. 針對 PCB 電路板上眾多元器件中的某一單個 IC (模塊), 可單獨進行高低溫沖擊, 而不影響周邊其它器件
5. 對測試機平臺 load board上的 IC 進行溫度循環(huán) / 沖擊; 傳統(tǒng)高低溫箱無法針對此類測試.
6. 對整塊集成電路板提供精確且快速的環(huán)境溫度.

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