兩家LED和太陽能生產(chǎn)設(shè)備巨頭今年二季度的財報相信會讓國人暗生艷羨卻又很不是滋味：VeecoInstruments2010年第二季度的營收達2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%；Aixtron2010年第二季度的營收達1.918億歐元，年增238%。

    正是固態(tài)照明產(chǎn)業(yè)和可再生能源產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展讓這兩家分別位于美國和德國的企業(yè)賺得是盆滿缽滿，中國相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)和資本在其中也可謂“貢獻”良多，例如，有機構(gòu)預計，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣到中國大陸。

    如何發(fā)展國產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備，降低生產(chǎn)成本，是關(guān)乎中國綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。

    在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設(shè)備一直主要依賴進口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關(guān)部門要集中人才和資源進行重點開發(fā)，解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，并盡早實現(xiàn)LED生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。

    可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備為人們點燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設(shè)備制造商在關(guān)注太陽能電池市場的同時，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應(yīng)用領(lǐng)域，并保持住價格優(yōu)勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或?qū)⒊蔀楦淖冎袊酥潦澜鏛ED生產(chǎn)設(shè)備市場格局的重要力量。

    青島華旗科技的一款適用于化合物半導體——LED/半導體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機的計算機控制系統(tǒng)等組成，系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計算機自動控制（windows界面）。該產(chǎn)品可滿足2“多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應(yīng)加熱的結(jié)構(gòu)形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目（如半導體白光照明GaN生長的HVPE設(shè)備等）。

    賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設(shè)備之外，也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能?？纱鎯艞l工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。

    上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應(yīng)商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商，并專門開辟了LED照明展區(qū)，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動提供了良好的互動平臺，有利于促成他們之間的合作。

    當然，就像有些專家指出的，MOCVD等關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合，要鼓勵外延芯片廠商應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備，同時要給予一定的資助。