無塵車間級別
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等級
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每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù)
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每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù)
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100
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《35*100 〈3.5〉
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1000
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《35*1000 〈35〉
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《250 〈0.25〉
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10000
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《35*10000 〈350〉
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《2500 〈2.5〉
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100000
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《35*100000 〈3500〉
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《25000 〈25〉
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潔凈要求
（1）清潔潔凈室內(nèi)的墻時(shí)應(yīng)使用潔凈室無塵布；
（2）用90％去離子水和10％的異丙醇配置清潔劑；
（3）使用已獲批準(zhǔn)的潔凈室專用去污劑；
（4）每天都要檢查車間和整備間的垃圾箱，并及時(shí)清走。
（5）每塊地板都要吸塵。每次交接班時(shí)，都應(yīng)在地圖上標(biāo)明工作完成情況，例如在哪結(jié)束從哪開始。
（6）清潔潔凈室的地面應(yīng)使用專用拖把。
（7）在潔凈室里吸塵應(yīng)使用帶有高效過濾器的專用真空吸塵器。
（8）所有的門都需要檢查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墻面。
（10）架空地板下也要吸塵及擦拭。
（11）三個(gè)月擦一次架空地板底下的柱子和支撐柱。
（12）工作時(shí)一定要記住，永遠(yuǎn)是由上往下擦，從離門最遠(yuǎn)的地方向門的方向擦。
無塵室須知
1. 進(jìn)入無塵室前，必須知會(huì)管理人，并通過基本訓(xùn)練。
2. 進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物(如報(bào)章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及團(tuán)聚談天。
3. 進(jìn)入無塵室前，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。
4.進(jìn)入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進(jìn)入。
5. 戴口罩時(shí)，應(yīng)將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)污染芯片。
6. 穿著無塵衣，無塵帽前應(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)，以免著上無塵衣后，不得整理又感不適。
7. 整肅儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則系:
(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi)，不得外露。
(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。
8.無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應(yīng)尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時(shí)應(yīng)注意帽之下擺應(yīng)保平整之狀態(tài)，無塵衣不可反穿。
9. 穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實(shí)蓋在褲管之上。
10. 戴手套時(shí)應(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)，以隔絕污染源。
11. 無塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)入無塵室。
12. 不論進(jìn)入或離開無塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區(qū)域?yàn)橹?，尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。
13. 無塵衣，鞋套等，應(yīng)定期清洗，有破損，脫線時(shí)，應(yīng)即換新。
14. 脫下無塵衣時(shí)，其順序與穿著時(shí)相反。
15. 脫下之無塵衣應(yīng)吊好，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中;鞋套應(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無塵衣等規(guī)定物品外，不得放置其它物品。
17. 除規(guī)定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無塵室。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)定處所。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)使用。
20. 任何東西進(jìn)入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。
21. 任何設(shè)備的進(jìn)入，請知會(huì)管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進(jìn)入。
22. 未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當(dāng)處理，例如關(guān)閉水、電、氣體等開關(guān)。
23. 無塵室內(nèi)絕對不可動(dòng)火，以免發(fā)生意外。