Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 Hipace 1200-2300
上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 1200-2300,抽速范圍 1200-2300 l/s 的全系列緊湊型復合軸承渦輪分子泵, HiPace 1200 - 2300系列渦輪分子泵可以倒置安裝。對小分子量氣體(H2, He)和大分子量氣體(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 產品優(yōu)點:
1.抽速從 1200-2300 l/s 的全系列產品
2.安裝角度可選 0°-90° 和 90°-180°
3.分子泵有抗腐蝕性氣體型號可選(C型號)
4.帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
5.電壓范圍 90 - 265 V
6.獲得 SEMI S2, UL, CSA 和 TüV認證
7.防護等級 IP54 符合工業(yè)環(huán)境應用要求
8.適用于各種嚴苛工藝如刻蝕,濺鍍,分子泵耐粉塵
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接連接一般電源
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技術參數(shù):
分子泵型號
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分子泵連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最高啟動壓強hPa
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極限壓力
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全轉速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進氣口
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排氣口
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氮氣
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
|
氮氣
N2
|
氮氣N2
|
hPa
|
氮氣N2
|
min
|
kg
|
HiPace® 1200
|
200
|
40
|
1,250
|
1,300
|
1,100
|
> 1X108
|
2
|
< 1X10–7
|
20
|
2.5
|
27 – 40
|
HiPace® 1500
|
250
|
40
|
1,400
|
1,350
|
1,150
|
> 1X108
|
2
|
< 1X10–7
|
20
|
2.5
|
29 – 41
|
HiPace® 1800
|
200
|
40
|
1,450
|
1,650
|
1,700
|
> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
|
20
|
4
|
33 – 34
|
HiPace® 2300
|
250
|
40
|
1,900
|
2,000
|
1,850
|
> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
|
20
|
4
|
34 – 47
|
C = 抗腐蝕性氣體
T = 溫控管理
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 應用領域:
1. 分析儀器 2. 半導體 3. 鍍膜 4. 工業(yè) 5. 研發(fā)
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 ISO-K
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 CF-F
分子泵 HiPace? 1200, pumping speed
分子泵 HiPace? 1500, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 1500, DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace? 1500, DN 200 CF-F
分子泵 HiPace? 1500, pumping speed
分子泵 HiPace? 1800, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 1800, DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace? 1800, pumping speed
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 CF-F
分子泵 HiPace? 2300, pumping speed,
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